1. 基于Python flask架构 2. 开发了SPC控制图算法，并在前端实时展现

To understand this text there are some prerequisites. A basic foundation in lithography science is assumed. The SPIE Handbook on Microlithography, Micromachining and Microfabrication. Volume 1: Microlithography l provides a suitable introduction. It is also assumed that the reader has had some introduction to basic statistical concepts and statistical process control. It is my intention that this text be a self-contained tutorial on lithography process control for readers familiar with the prerequisite lithography science and basic statistical process control, although some subjects may involve a higher level of mathematical sophistication than others. The text covers the subject of lithography process control at several levels. Discussions of some very basic elements of statistical process control and lithography science are included, because, when trying to control a lithography process, a number of subtle problems arise that are related to fundamental issues. To most readers, the information presented on the foundations of statistical process control should be familiar. Nevertheless, it is useful to review the foundations of statistical process control, in order to clearly identify those circumstances in which the method may be applied, and where it needs to be applied with particular care. This inclusion of basic topics also allows the text to serve as an introduction to process control for the novice lithography engineer and as a reference for experienced engineers. More advanced topics are also included to varying

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控制图示例: 上控制界限(UCL) 中心线(CL) 下控制界限(LCL) （一）、控制图定义 控制图是用于分析和控制过程质量的一种方法。控制图是一种带有控制界限的反映过程质量的记录图形，图的纵轴代表产品质量特性值(或由质量特性值获得的某种统计量)；横轴代表按时间顺序(自左至右)抽取的各个样本号；图内有中心线(记为CL)、上控制界限(记为UCL)和下控制界限(记为LCL)三条线(见下图)。 五、控制图

SPC培训教程 一、持续改进及统计过程控制概述 二、SPC基础 三、计数型数据控制图 SPC培训教程全文共50页，当前为第1页。 产品质量波动及其统计描述 产品质量特性 定性 定量 连续 离散 计量值 计数值 计件值 计数值 SPC培训教程全文共50页，当前为第2页。 变 异 误差 =X-X0 偶然性误差：误差大小和方向的变化是随机的。 系统性误差：误差大小和方向的变化保持不变或按一定规律变化。 过程控制中常用精度这个概念来反映质量的波动（变异）程度。 SPC培训教程全文共50页，当前为第3页。 精 度 精度又可分为： 准确度(Accuracy)： 反映系统误差的影响程度； 精密度(Precision)： 反映偶然误差的影响程度； 精确度(Uncertainty)： 反映系统误差和偶然误差综合的影响程度 SPC培训教程全文共50页，当前为第4页。 精度的概念 准确度好 精密度好 系统误差小 偶然误差小 准确度差 精密度高 系统误差大 偶然误差小 准确度高 精密度差 系统误差小 偶然误差大 准确度差 精密度差 系统误差大 偶然误差大 SPC培训教程全文共50页，当前为第5页。 持续改进及统计过程控制概述 预防与检测 过程控制系统 变差：普通原因及特殊原因 局部措施和对系统采取措施 过程控制和过程能力 过程改进循环及过程控制 控制图：过程控制工具 控制图的益处 SPC培训教程全文共50页，当前为第6页。 持续改进及统计过程控制概述之一检测与预防 过程控制的需要 检测—容忍浪费 预防—避免浪费 SPC培训教程全文共50页，当前为第7页。 持续改进及统计过程控制概述之二过程控制系统 我们工作 的方式 资源的融合 产品 或 服务 顾客 识别不断变化 的需求和期望 顾客的声音 人 设备 材料 方法 环境 输入 过程/系统 输出 过程的声音 统计方法 有反馈的过程控制系统模型 SPC培训教程全文共50页，当前为第8页。 持续改进及统计过程控制概述之三变差的普通原因及特殊原因 SPC培训教程全文共50页，当前为第9页。 SPC基础 SPC (Statistical Process Control) 统计过程控制：利用统计技术对过程中的各个阶段进行监控，从而得到保证产品质量的目的。 二十世纪二十年代美国休哈特(W.A.Shewhart)首创过程控制(Process Control)理论极其监控过程的工具—控制图(Control Chart)形成SPC的基础，后扩展到任何可以应用的数理统计方法。 控制图(Control Chart)：对过程质量特性记录评估，以监察过程是否处于受控状态的一种统计方法图。 1924年5月6日休哈特提出的不合格样品率P控制图为世界第一张控制图。 SPC培训教程全文共50页，当前为第10页。 产品质量的统计观点一 产品质量具有变异性 影响产品质量的因素有6M Man: 人 Machine: 机 Material: 料 Method: 法 Mother-nature: 环 Measurement: 测 无论人类社会如何进步发展，产品质量不可能保持绝对恒定，一定具有变异性。 SPC培训教程全文共50页，当前为第11页。 产品质量的统计观点二 产品质量的变异具有统计规律性 确定性现象，确定性规律：在一定条件下，必然发生或不可能发生的事情。如一个大气压（760mm汞柱）下，H2O的变化规律。 温度 0 固体状态 温度 0 < t < 100 液体状态 温度 100 气体状态 随机现象，统计规律：在一定条件下事件可能发生也可能不发生的现象。如我们无法预知内存电性能测试合格率大于99%，但大量统计数据证明有99%的可能性大于99%。 SPC培训教程全文共50页，当前为第12页。 正态分布 分布(distribution)：用来描述随机现象的统计规律，说明两个问题：变异的幅度有多大；出现这么大幅度的概率。 计量特性值：如PCB金手指厚度、重量或时间等连续性数据，最常见的是正态分布(normal distribution)。 计件特性值：如内存合格/不合格两种离散性数据，最常见的是二项分布(binomial distribution)。 计点特性值：如每条内存上少锡点数等离散性数据，最常见的是泊松分布(Poisson distribution)。 由于二项分布和泊松分布数据数理统计理论较复杂，以下讨论以正态分布为例。 SPC培训教程全文共50页，当前为第13页。 正态分布 直方图(histogram)：在横轴上以样本数据每组对应的组距等距离线段为底，纵轴表示样本数据落入相应直方组的频数的n个矩形所组成的图形。如100条PCB金手指厚度，标准50 3.94。 用面积表示频率或频数 统计学显示计量特性值分布特点是：中间高，两头低，左右对称

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