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厂务监控管理方案.pptx
厂务监控管理方案.pptx
上传者:
ahtcwh
|
上传时间: 2022-09-30 00:11:54
|
文件大小: 3.59MB
|
文件类型: PPTX
FCMS
FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的缩写,其中文为厂务监控系统简称,它是针对目前半导体厂内制程所使用的监控系统, 用途是将厂区内特定的,有危害的,影响制程状态或系统资料进行监控。并将其记录,以供问题即时处理及日后问题分析
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