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论文研究-针对特殊有源区图形设计的Direct STI CMP工艺控制方式优化 .pdf
论文研究-针对特殊有源区图形设计的Direct STI CMP工艺控制方式优化 .pdf
上传者:
39841882
|
上传时间: 2021-10-08 16:46:22
|
文件大小: 1.12MB
|
文件类型: -
浅沟槽隔离化学机械研磨
针对特殊有源区图形设计的Direct STI CMP工艺控制方式优化,张守龙,程秀兰,本文根据实际生产需求,解决了特殊有源区图形设计的产品在Direct STI CMP生产中无法通过终点探测技术(EPD)进行工艺控制的问题。通过分��
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