内容概要:SEMI E30-1103标准定义了制造设备(GEM)通信和控制的通用模型,旨在标准化半导体制造设备与主机之间的通信接口,提高自动化水平并降低开发成本。该标准涵盖了通信状态模型、控制状态模型、设备处理状态模型等多个方面,详细描述了设备如何通过SECS-II消息与主机进行交互,包括建立通信、数据收集、报警管理、远程控制、设备常数管理、工艺程序管理、材料移动、终端服务等功能。标准还定义了设备的多任务缓冲处理能力,以确保在通信故障期间数据不丢失。此外,标准提供了详细的事件报告机制,允许主机实时监控设备状态。 适用人群:半导体制造设备的研发人员、工程师和技术支持人员,特别是那些需要实现或维护SECS-II通信协议的人群。 使用场景及目标:①定义设备与主机之间的标准化通信接口,确保不同制造商的设备可以互操作;②通过事件报告和状态模型,主机可以实时监控设备状态并作出相应调整;③实现远程控制和数据收集,支持工厂自动化和过程优化;④提供报警管理和错误处理机制,确保设备安全运行;⑤通过多任务缓冲处理,保证通信故障期间的数据完整性。 其他说明:该标准不仅详细规定了设备的功能要求和实现方法,还提供了应用说明和示例,帮助用户更好地理解和实施标准。此外,标准强调了与SEMI E5(SECS-II消息内容)和其他相关标准的兼容性,确保了广泛的适用性和互操作性。用户在实施过程中应注意安全和健康实践,并确保遵守相关法规。
2025-06-22 17:09:19 13.7MB SECS-II 通信协议 半导体制造 设备控制
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​发布时间​:2004年,作为SECS-II标准的核心版本沿用至今。 ​扩展功能​: 新增对复杂数据结构(如晶圆映射、工艺管理)的支持。 细化流(Stream)与函数(Function)的定义,覆盖16个流(Stream 0至Stream 17),例如Stream 16用于工艺步骤协调。 ​改进点​: 明确事务超时机制(如T1-T4超时)和错误恢复逻辑 内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-22 17:08:12 2.66MB SECS-II SEMI 标准文档
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内容概要:本文档详细介绍了SEMI设备通信标准SECS-II的消息传输协议及其具体应用,涵盖了消息头、事务超时、流和函数分配、事务协议、对话协议以及数据结构等内容。重点讨论了不同类型的流和它们的功能,如材料状态流、配方管理流等。文档还提供了具体的错误处理机制和事务流程,帮助开发者理解和实现SECS-II协议。 适合人群:半导体制造及相关行业的工程师和技术人员,尤其是那些需要进行设备间通信的系统集成和维护工作的专业人士。 使用场景及目标:本标准用于规范设备与主机之间的通信,确保设备之间的互操作性和可靠性。主要应用于半导体制造设备的控制系统中,帮助企业提高生产效率和产品质量。此外,开发者可以利用本标准进行设备集成、测试和维护。 阅读建议:本文档内容详尽且技术性强,建议在实际项目中结合具体应用场景进行学习。对于复杂的数据结构和事务流程,可以通过实验和调试来加深理解。 ps:pdf文字可复制
2025-06-06 18:46:28 998KB SEMI SECS-II 数据传输 通讯协议
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内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-03 14:25:47 12.15MB SECS-II SEMI
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Secs-II-E5-协议原文
2022-09-07 14:04:27 290KB SECS/GEM SECS GEM300
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SEMI E5-1104 SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT (SECS-II)
2022-03-29 00:27:53 2.66MB SEMI E5 SECSII
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secs ii 的协议原文,需要的同学们可以取走
2021-08-24 19:18:01 916KB secs mes 通信协议 自动化
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SEMI组织制定的SECS-II标准,用于半导体生产系统CIM与设备机台间通过网口进行通信
2021-07-20 16:36:44 1.05MB SECS II HSMS
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SECS-GEM(HSMS)调试通讯工具与说明书,对于学习半导体通讯协议与SECS-GEM的开发有很大帮助,用于开发制造业工业4.0大数据的CIM系统。
2021-06-20 21:35:57 21.32MB SECS GEM HSMS 调试工具
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C#开发SECS通讯软件,详细的 S**F** Code参考说明和样例代码
2021-06-08 09:00:16 97.12MB SECS
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