单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟，可供参考学习，单晶炉导流筒、热屏及炭毡对单晶硅生长影响的优化模拟
2024-04-16 20:13:57
696KB
1
较为详细的单晶炉相关资料。
关键字：半导体，材料，单晶，单晶炉，衬底，激光定向，单晶硅，单晶硅生长，制造工艺，工艺流程，半导体专用设备，单晶炉导流筒，热屏，碳毡，优化模拟，机械结构，多晶硅铸锭炉，单晶炉，结构。
2022-01-04 14:57:54
45.79MB
1