内容概要：本文档为《TCAD实验指导书-2024》，系统介绍了半导体工艺与器件仿真平台Sentaurus TCAD的使用方法，涵盖从基础Linux操作、SSH远程登录、TCAD软件环境配置，到工艺模拟、器件结构建模（SDE）、器件特性仿真（SDevice）、结果可视化分析（SVisual、Inspect）等全流程技术内容。重点讲解了通过CMD命令脚本方式进行器件几何结构、掺杂分布、网格划分的建模方法，以及静态/动态特性仿真的命令文件结构与物理模型设置，并结合PN结二极管、MOSFET、双极晶体管等器件实例进行仿真演练，强调工艺-结构-仿真的闭环验证流程。此外，还涉及网格重划分、参数化仿真、工艺优化等高级技巧，旨在培养学生掌握现代半导体器件仿真与工艺开发的核心能力。; 适合人群：微电子、集成电路、电子科学与技术等相关专业的本科生、研究生及从事半导体器件与工艺研发的工程技术人员。; 使用场景及目标：①掌握Sentaurus TCAD工具链的基本操作与仿真流程；②学会使用CMD脚本进行器件结构建模与工艺仿真；③掌握器件电学特性（I-V、C-V、开关特性等）的仿真与分析方法；④理解工艺参数对器件性能的影响，具备通过仿真优化器件设计的能力。; 阅读建议：建议按照实验顺序逐步实践，重点理解CMD命令脚本的语法结构与物理含义，结合SVisual和Inspect工具进行结果验证。对于复杂命令（如refinebox、pdbSet、solve等），应结合实例反复调试，注重理论知识与仿真结果的对比分析，以深化对半导体器件物理与工艺机制的理解。

六、MOSFET工艺仿真 （1） 调用ATHENA仿真器并生成网格信息 go athena line x loc=0.0 spac=0.1 line x loc=0.2 spac=0.006 line x loc=0.4 spac=0.006 line x loc=0.6 spac=0.01 line y loc=0.0 spac=0.002 line y loc=0.2 spac=0.005 line y loc=0.5 spac=0.05 line y loc=0.8 spac=0.15

TSUPREM-4基本命令介绍， 半导体工艺仿真工具TSUPREM-4(23)中文教程。

第二讲-Silvaco-TCAD-工艺仿真

TSUPREM-4 is a computer program for simulating the processing steps used in the manufacture of silicon integrated circuits and discrete devices. TSUPREM-4 simulates the incorporation and redistribution of impurities in a two-dimensional (2-D) device cross-section perpendicular to the surface of the silicon wafer. The output information provided by the program includes: • Boundaries of the various layers of materials in the structure • Distribution of impurities within each layer • Stresses produced by oxidation, thermal cycling, or film deposition

Intellisuite安装包

abaqus焊接工艺仿真插件，可以模拟激光焊、氩弧焊、搅拌摩擦焊等多种焊接工艺及多遍焊接过程，操作简单，附带帮助文档