以锗基红外宽带增透膜(AR)为例，基于Matlab最优化工具箱，研究了多种局部优化算法在多层膜设计中的性能和反向工程算法开发中的可行性，并就数值实验中出现多解性问题的成因、分析及解决方案进行了探讨。结果表明，Matlab最优化工具箱中的导数算法在多层膜局部优化设计上具有更好的局部极值搜索性能和收敛速度；非导数算法性能较差且收敛时间较长，但具有更多的搜索路径，较适用于设计初期开拓搜索方向。在多层膜反演中，导数算法中的非线性最小二乘估计指令lsqnonlin和非线性方程求解指令fsolve的性能出色，建议作为多层膜反向工程问题的主要算法。无约束优化指令fminunc性能次之，约束优化指令fmincon再次之，可作为备用反演算法。而多目标优化指令fminimax和其余非导数算法由于算法的性能不足和自身内在多解性的原因，不利于多层膜的反演，容易得到错误的结果，不建议作为反演算法使用，仅可作为可选算法以供对比参考。

采用离子束溅射法,分别在经过不同前期清洗方法处理过的K9及石英玻璃光学基片上,选择不同的镀膜参量,镀制了多种厚度的Au膜。对镀制的Au膜在真空紫外波段较宽波长范围内的反射率进行了连续测量。测试结果表明：辅助离子源的使用方式、Au膜厚度对反射镜的反射率有重大影响。基片材料、镀前基片表面清洗工艺等对反射率也有一定影响。采用镀前离子轰击,可显著提高Au膜反射率及膜与基底的粘合力;获得最高反射率时的最佳膜厚与基片材料、镀膜工艺密切相关。对经过离子清洗的石英基片,膜厚在30 nm左右反射率最高;比较而言,石英基片可获得更高的反射率;辅助离子源的使用还显著影响获得最高反射率时对应的最佳膜厚值,且对K9基片的影响更显著。

Kretschmann型激发表面等离子体共振(SPR)膜系结构是探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻技术(PSPRN)的关键部分之一。采用多层介质的特性矩阵法计算膜系结构的透射系数和反射率,对PSPRN所需的单膜层、双膜层及三膜层膜系结构进行了优化设计。计算结果表明,光波波长为514.5 nm时,对于选定材料的最佳膜系结构是Ag膜厚度为46 nm的单膜层结构,Ag膜厚度为24 nm,AgOx厚度为95 nm的双膜层结构及Ag膜厚度为44 nm,SiO2厚度为180 nm,AgOx厚度为10 nm的三膜层结构,提出了记录层材料应选择折射系数小且吸收系数尽可能小的光刻材料的观点。

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采用椭圆偏振光谱法，在1.5～6.5eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜。通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数，所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%。表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜，进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数。

半波孔问题严重影响了倍频分束镜在高功率激光系统中的应用。为研究半波孔的产生机理，分别模拟了由高、低折射率膜层厚度失配和膜料色散失配引起的1/4波长对称规整膜系的半波孔。基于等效层理论，在Matlab平台上计算膜系的等效折射率E，绘出其对应的反射率极值包络曲线。通过研究对称膜系的等效折射率、反射率光谱和反射率包络之间的关系，从原理上分析了半波孔的大小、位置和变化趋势等特点。结果表明，膜层的厚度失配使对称膜系的等效折射率在光谱半波处产生截止带。膜层数越多，膜层厚度和膜料色散的失配越严重，则倍频分束镜的半波孔越深。

麦克劳德膜系设计，最实用书籍！Information in this document is subject to change without notice and does not represent a commitment on the part of Thin Film Center Inc. The software described in this document is furnished under a license agreement. The software may be used or copied only in accordance with the ter

行业分类-电器装置-一种通过清洗处理提高金属纳米线透明导电薄膜光学性质的方法.zip

对氧化物薄膜的双离子束溅射沉积作了系统地实验研究。考察了离子束溅射工艺参数对薄膜光学特性的影响，制备了折射率接近于块材料的TiO2和ZrO2薄膜，显著降低了TiO2、ZrO2和SiO2薄膜的光吸收损耗，TiO2和ZrO2薄膜的抗激光损伤阈值得到显著提高。用双离子束溅射沉积1.06 μm多层高反膜，得到了大于99.5%的高反射率，经高温退火处理的双离子束溅射沉积高反膜的抗激光损伤阈值同热蒸发沉积的高反膜相比有所提高。