FLUENT 第十一章中文帮助 west_wing@sohu.com - 1 - 译文说明 本文依据 FLUENT6.0 的 HELP 文件翻译而成。事先并未征得原文版权所有者 FLUENT 公司或其在中国代理人海基公司的同意。 本文的写作目的仅在于为在教育与科研领域从事研究工作的人员提供参考与帮助，无意 于将其用于商业目的。 对本文在教育与科研领域的转移、存储、复制，本文作者不提供基于任何商业目的或有 损于原文版权所有者的利益、形象等权益的帮助或便利。 对出于研究与教学目的人员或机构，中文翻译者愿意并尽其可能的提供帮助、商议或回 应其它形式的要求。 一旦原文（英文）版权所有者对中文译文的发布提出异议并明确通知译文作者，同时援 引有效、适用的法律、法规条款，译文作者愿意立刻终止其为本文的发布、传播而所做 出的一切形式努力。 注：本文以 ADOBE 公司的 PDF 格式发布。如需要相应中文 WORD 格式文档，请发邮件到 west_wing@sohu.com.

13.2 壁面表面反应和化学蒸汽沉积 对于气相反应，反应速率是在容积反应的基础上定义的，化学物质的形成和摧毁成为物 质守恒方程中的一个源项。沉积的速率由化学反应动力和流体到表面的扩散速率控制。壁面 表面反应因此在丰富相中创建了化学物质的源（和容器），并决定了表面物质的沉积速率。 有关表面反应和化学蒸气沉积的信息按以下小节给出：  13.2.1 概述和限制  13.2.2 理论  13.2.3 壁面表面反应的用户输入  13.2.4 壁面表面反应的求解过程  13.2.5 壁面表面反应的后处理 13.2.1 概述和限制 表面物质和壁面表面反应的概述 FLUENT 把沉积在表面的化学物质与气体中的相同化学物质分开处理。类似地，涉及沉 积的表面反应定义为单独的表面反应，因而其处理也与涉及相同化学物质的丰富相反应不 同。举例说明，考虑从硅烷分解的如下硅沉积机理： 反应 1（表面）： )(2)()( 24 gHsSigSiH +→ ； 反应 2（气体）： )()()( 224 gHgSiHgSiH +→ ； 反应 3（气体）： )()()( 22 gHgSigSiH +→ ； 反应 4（表面）： )()()( 22 gHsSigSiH +→ ； 456

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