传统横向单向加载MEMS静电微执行器存在位移过小或驱动电压过大等问题.本文提出一种纵横双向加载的新型硅基静电执行器模型.基于拉格朗日-麦克斯韦方程建立了微执行器动力方程,分析了边缘漏电场对静电力的影响,基于龙格-库塔算法将所有轴向载荷等效为轴向集中载荷,并分别仿真得到了变形与驱动电压、调节电压和轴向挤压量之间的关系,结果表明当驱动电压仅为16 V时,位移高达10.861μm,远大于目前传统横向加载单向变形微执行器的位移量.通过微型制造工艺加工了微执行器,利用高频信号采集了横向极板间的电压变化量,验证了仿真结果.
2021-03-02 17:05:06
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本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本方法和过程，并辅以典型MEMS建模实例，图文并茂。全书共分5章，第1章概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysies软件中MEMS建立模型的基本过程；第2章以6个典型模型为蓝本，详细介绍了MEMS建模的一般方法；第3、4、5章分别介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和过程。书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发，具有高度的可靠性。 本书可供MEMS研究人员和爱好者，以及高等院校相关专业师生阅读、参考。
2021-02-26 16:57:43
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基于无味卡尔曼滤波器的用于AUV的基于MEMS的低成本SINS的动态初始对准
2021-02-26 16:06:58
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In-vitro Electrochemical Stability Evaluation of a Flexible MEMS Microelectrode of a Flexible MEMS Microelectrode
2021-02-11 09:06:49
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With the development of MEMS sensors, pedestrian navigation has been a popular research. The paper realizes step detection and estimation for step length by only vertical accelerometer. It determines initial heading using accelerometers and magnetometers and calculates latter heading using gyroscopes by strap-down inertial navigation algorithm. Afterwards, it achieves the positioning goal for pedestrian using dead reckoning method. Definitively, the effectiveness of this approach is demonstrated
2021-02-07 12:04:55
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esp32-i2s-slm：带有ESP32和I2S MEMS麦克风的声级计
2021-02-01 11:15:54
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MEMS数字 模拟麦克 MIC选型 I2S PDM TDM MIC 技术资料
2021-01-30 20:08:29
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