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微机电系统的产生、发展 起源：微机电系统的起源与集成电路和固态传感器的发展密切相关。１９４７年科研工作者首先发明了晶体管，而后的半导体集成电路的研制导致了微电子技术的产生，并使硅成为最为重要的微电子材料，也为微机电系统技术的发展奠定了基础； 19世纪，照相制版； 1951年，布劳恩影空板（美，RCA公司）-用于光制造工程领域； 1954年，史密斯－－半导体压阻效应； 1958年，硅单晶半导体应变片； 1962年，结晶各向异性腐蚀技术； 1963年，半导体压力计（日本丰田研究所）； 1967年，振动栅极晶体管（美，Westinghouse公司）-利用牺牲层腐蚀方法； 1968年，阳极键合（美，Mallory公司）； 1969年，杂志浓度依存性腐蚀； 1970年，出现硅微小电极； 1973年，导管用硅压力传感器（斯坦福大学）；离子敏场效应管（日本，东北大学）； ２０世纪６０年代末７０年代初，美、日等国先后以压阻效应为基础研制出扩散硅压力传感器，应用扩散、研磨等工艺； 1975年，集成化气体色谱仪（斯坦福大学）-传感器和执行器； 1979年，集成化压力传感器（美，密歇根大学）-传感器和电路； ２０世纪７０年代中期，美国Ｋｕｌｉｔｅ压力传感器公司首先通过光刻、腐蚀、静电键合技术，制成扩散硅压力传感器膜片；由于尺度可控制在微米级，同时，采用硅的深腐蚀和整体键合实现的，该方法被称为体微机械加工（Ｂｕｌｋ　Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）技术。 1981年，水晶微机械（日本，横河电机）； 1986年，LIGA工艺（原西德原子力研究所）-高深宽比微细加工技术； 1986年，硅伺服型加速度传感器（瑞士，CSEM）;集成微流量控制器（日本，东北大学）-闭环集成控制；

libmicrossdp libmicrossdp是一个非常小巧且可移植的多播SSDP发现客户端，可以内置到共享库中，也可以静态链接到最终产品中。 SSDP可用于查找网络上的本地设备，例如： 媒体消费者 打印机/扫描仪 物联网 电话设备 网络设备 资料储存装置 libmicrossdp不是完整的UPnP实现。 libmicrossdp不在乎XML模式或详细的设备服务清单。 libmicrossdp的目标是简单地发现本地网络上的UPnP设备并将其位置数据返回给使用者。 经过测试的平台 Linux 版权 2014年-2015年亚历山大·冯·格鲁克（Alexander von Gluck）IV 执照 为了实现广泛使用，libmicrossdp是根据MIT许可证发行的。 如果您在商业产品中使用libmicrossdp，请向上游回馈！

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针对齿轮视觉微小缺陷，采用一种基于深度学习算法的Mask R-CNN网络进行检测，并对网络进行相应地优化调整.首先，通过比较5种残差神经网络检测效果，选择resnet-101作为图像共享特征提取网络.然后，剔除特征金子塔网络中对特征图P5进行的不合理的3×3卷积，缺齿检出率指标相应得到提升.最后，为了对候选区域网络进行有效的训练，根据设计的样本标注方案中小范围波动的标注尺寸，设置合适的anchors大小以及宽高比.最终，经过优化的Mask R-CNN网络达到了98.2%缺齿检出率.

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