对微机电系统进行了详细介绍

新能源汽车整车设计开发 贺林 2017年10月12日

微机电系统的产生、发展 起源：微机电系统的起源与集成电路和固态传感器的发展密切相关。１９４７年科研工作者首先发明了晶体管，而后的半导体集成电路的研制导致了微电子技术的产生，并使硅成为最为重要的微电子材料，也为微机电系统技术的发展奠定了基础； 19世纪，照相制版； 1951年，布劳恩影空板（美，RCA公司）-用于光制造工程领域； 1954年，史密斯－－半导体压阻效应； 1958年，硅单晶半导体应变片； 1962年，结晶各向异性腐蚀技术； 1963年，半导体压力计（日本丰田研究所）； 1967年，振动栅极晶体管（美，Westinghouse公司）-利用牺牲层腐蚀方法； 1968年，阳极键合（美，Mallory公司）； 1969年，杂志浓度依存性腐蚀； 1970年，出现硅微小电极； 1973年，导管用硅压力传感器（斯坦福大学）；离子敏场效应管（日本，东北大学）； ２０世纪６０年代末７０年代初，美、日等国先后以压阻效应为基础研制出扩散硅压力传感器，应用扩散、研磨等工艺； 1975年，集成化气体色谱仪（斯坦福大学）-传感器和执行器； 1979年，集成化压力传感器（美，密歇根大学）-传感器和电路； ２０世纪７０年代中期，美国Ｋｕｌｉｔｅ压力传感器公司首先通过光刻、腐蚀、静电键合技术，制成扩散硅压力传感器膜片；由于尺度可控制在微米级，同时，采用硅的深腐蚀和整体键合实现的，该方法被称为体微机械加工（Ｂｕｌｋ　Ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）技术。 1981年，水晶微机械（日本，横河电机）； 1986年，LIGA工艺（原西德原子力研究所）-高深宽比微细加工技术； 1986年，硅伺服型加速度传感器（瑞士，CSEM）;集成微流量控制器（日本，东北大学）-闭环集成控制；

基于模糊能量管理的 20kW 光伏和风电混合系统并网

为了建立双馈风电系统的动态仿真模型,根据abc-dq坐标变换得到了同步坐标系下双馈电机定、转子解耦数学模型,采用定子侧电压定向矢量控制,转子测定子磁链定向矢量技术,并引入滞环控制环节,研究了风速变化和电网电压跌落情况下双馈风电机组的运行特点.利用PSCAD软件建立了双馈风力发电机组的模型并进行仿真分析,结果表明,通过矢量控制可以改善系统的低电压穿越能力,验证了该控制方案和仿真模型的正确性和有效性.

大数据-算法-风电系统中变桨距控制算法的研究.pdf

IC卡预付费售电管理系统3.0.1，建议用sql server 2000 进行数据的配置，后一个密码可以自定！

在研究双馈型风力发电系统中网侧变流器基本工作原理的基础上，建立DFIG并网系统网侧变流器的数学及控制系统模型。为了更好地提升并网风电系统的控制效果，采用一种基于前馈解耦控制的双闭环控制策略对网侧变流器实行控制，以提高逆变波形及直流母线电压的稳定性。通过在仿真软件Matlab/Simulink中搭建模型进行仿真研究，验证控制策略的可行性及有效性。

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针对现代航电系统综合化程度高、故障现象复杂多变、故障诊断能力不足的现状，分析了综合化航电系统的故障特征，总结了其故障诊断算法的设计要求，并在此基础上设计了基于多信号模型的故障综合诊断算法，具体包括：建立了算法的总体架构，针对机上LRU/LRM 级、子系统级和系统级诊断以及在线诊断的特点分别设计了适用的诊断算法模块，特别针对子系统与系统级诊断，设计了防虚警处理算法、快速诊断算法和精确诊断算法，以解决航电系统机内测试设备(BITE)长期存在的虚警难题，满足不同BIT 工作模式下故障诊断的要求；建立了多层次诊断