电容式传感器工作原理 　　电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图1所示。 　　 　　图1 单电容式和差分电容式传感器 　　(a) 单电容传感器 　　(b) 差分电容传感器 　　图1(a)为两平行板组成的电容器，图1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传感。对图1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时： 　　电容器的电容量为：　 　　 　　式中A为电容器的极板面积，d为极板的距离，er、e0为介电常数。 　　电容传感器中的变间隙式电容传感器的C-d特性如图2所示。 　　 　　图2 变间隙式电容传感器的C-d特性曲线图 　　单电容传感器的一个极板固

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通过基于微电子机械系统（MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS）的加速传感器和陀螺仪的设计，MEMS技术已经广泛应用于导航和游戏软件领域；但是，微型电磁式感应器技术正越来越多地应用于医疗领域。 　　MEMS普遍应用于患者诊断器械中。这种诊断器械用于检测患者心脏的功能。医务人员通常采用的方法是通过心电图来检查患者心脏功能情况。在心电图检查过程中，医务人员会将一套电极连接在人体上，使其与皮肤表面接触。通过这种方法，我们可以测量复杂的向量心电图（VCG）。向量心电图是一种传统的方法，它可以记录患者心电P-QRS-T波的振幅和时间或者仅仅记录R波峰值的时间。这种向

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