干涉测量技术以光的波长为度量单位,具有高精度、高灵敏度、和非接触的特点。特别是20世纪70年代以来,干涉测量技术与现代激光技术、电子技术和计算机技术相结合,极大地提高了测量精度和重复性。干涉测量已成为实现光学元件面形及微形貌,光学系统波像差,光学材料折射率、应力双折射等参数高精密检测的主要手段。超精密干涉测量仪器与系统已成为Zygo、Zeiss、Nikon、4D Technology、QED等企业的核心业务之一。
2021-02-23 18:05:01 976KB 论文
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用C8051F020和FPGA设计的低频信号相位测量仪器, 全国电子设计大赛题目,全部给出,包括单片机和FPGA程序,硬件电路图,管脚说明,很详细的哦,
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