这项研究提出了一个单一的质量块CMOS-MEMS加速度计,带有集成的三轴传感电极阵列。 本研究采用平面指型和平面外板式间隙闭合传感电极。 采用标准TSMC 0.35Pm 2P4M CMOS工艺和内部后CMOS工艺实现器件。 电容面内和面外传感间隙可以通过CMOS工艺的最小线宽和厚度来定义。 结构尺寸仅为500x500Pm2。 测量结果表明,X轴的灵敏度(非线性)为2.47mV / g(1.3%),Y轴为2.87mV / g(1.4%),Z轴为3.89mV / g(3.4%)。 面内和面外传感的噪声流量分别为0.59mg / rtHz和0.8mg / rtHz。
2021-12-18 15:03:54 5.16MB 传感技术
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2021-12-17 12:33:12 667KB 数控加工
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2021-12-16 22:03:30 667KB 行业报告
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数控 cnc是一个开放源代码的有趣项目,用于控制三轴cnc机器。
2021-12-16 21:38:57 36.95MB C++
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2021-12-15 18:00:56 46KB
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利用getdate选取图中数据后,放到excel中,打开origin进行数据设置。
2021-12-15 17:52:27 2.52MB Getdat Origin
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quiverwcolorbar 通过根据矢量幅度为箭头分配颜色,为原始 quiver 函数添加了功能。 相应的颜色条跨越数据集的最小值和最大值,或者可以由用户指定。 对颜色条边界的任何更改都会相应地更改矢量颜色。 句法: quiverwcolorbar(x,y,u,v,scale,'bounds',[colormin colormax]) 输入: x, y: 向量位置u、v:矢量方向(东西、南北) scale:用于设置向量长度的标量值'bounds':用于指定颜色条轴最小值和最大值的可选设置 例子: x = rand(1,50).*100; y = rand(1,50).*100; u = rand(1,50) .* 10; v = rand(1,50) .* 10; 规模= 0; 数字; quiverwcolorbar(x',y',u',v',scale); %相比于: 数字; qu
2021-12-15 17:32:35 6KB matlab
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Polar3D 绘制给定角度和径向范围的 3 维数据。 此功能支持选择绘图类型和插值方法。 特别适用于生成以均匀间隔在圆盘上采样的 3D 绘图。 1.2 版引入了新的 ?meshl? plot 选项允许用户在不插值或修改输入 Zin 的情况下绘制数据,并添加带有合适刻度线和标签的极轴。 此选项的输出返回不变的输入以及相应的 x 和 y 坐标,两者的大小都与 Zin 相同。 ?轮廓? plot 选项已被 ?meshl? 取代? 此版本中的选项。 Polar3D(Zin,theta_min,theta_max,Rho_min,Rho_max,meshscale) 生成数据 Zin 的网格图,介于 theta_min 和 theta_max、半径 Rho_min 和 Rho_max 之间,网格方块的大小由网格尺度确定; meshscale 取任何真正的正值。 Polar3D(Zin,..
2021-12-15 15:05:53 1.09MB matlab
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