半导体工艺和器件仿真工具 Silvaco TCAD 实用教程.zip

Silvaco 产品覆盖了半导体产业相当广泛的领域，主要的产品有 TCAD、Analog/AMS/RF、
Custom IC CAD、Interconnect Modeling 和 Digital CAD。Silvaco TCAD 可以仿真半导体工艺
和器件特性，其主要的集成环境为 DeckBuild，工艺仿真组件、器件仿真组件以及可视化工
具等模块均可在 DeckBuild 界面灵活地调用。Silvaco TCAD 有 Linux 版本，也有 Windows
版本。在 Linux 版本下有更多的图形用户界面（GUI），方便用户选择参数，然后自动转化成
相应的语句，而 Windows 版本更多的是需要书写语句的。对于这两种方式每个人都会有自
己的喜好，但更一般倾向于图形化界面，作者在开始接触 Silvaco TCAD 的时候也是如此。
但图形化界面也有不足的地方，容易使人产生依赖，即用惯了图形化界面来选择参数就不会
特别在意语法的学习，而实际上图形界面只有一部分参数可供选择。尤其是在初学的时候，
如果导入一个例子，发现里面全是语句，使人茫茫然一头雾水。如果使用写语句的方式来组
织仿真则更有利于全面且透彻地理解和掌握，所以作者建议读者学习 Silvaco TCAD 的时候
从语法学习着手，本书即以 Windows 版本下的 Silvaco TCAD 作为学习的对象，但有时为了
说明的方便也会给出相应的图形界面。如果你使用的是 Linux 系统下的 Silvaco TCAD 版本，
不用担心，这只会对学习带来更大的帮助，因为语法是相通的。
这一章主要介绍 Silvaco TCAD 的基本框架，集成环境 DeckBuild，DeckBuild 的命令
“extract”、“go”、“set”和“Tonyplot”以及 Silvaco 文档的分布和学习方法等。