双相调节和超宽带可调谐微机电系统谐振器的分析
针对单负载，垂直变形引起的传统MEMS（微机电系统）谐振器窄带和谐振频率固定的问题，提出了一种新型的具有超宽带，可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程，推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz，两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。
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