极紫外Mg /Si C双功能多层膜反射镜的设计 (2010年)

工程技术论文

根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/ Si C双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30 .4 nm和58 .4 nm处的反射率分别大于41 %、小于0.20 %。

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