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晶体定向切割的精密光学方法
晶体定向切割的精密光学方法
上传者:
38617413
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上传时间: 2021-09-05 15:11:14
|
文件大小: 1.26MB
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文件类型: PDF
在半导体工艺中,单晶定向切割是晶体加工的基本工序之一。半导体激光器的效率和外延层的质量都依赖于衬底的定向精确度。
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