半导体制造工艺中的主要设备及材料大盘点

上传者: 38650150 | 上传时间: 2022-10-07 20:04:02 | 文件大小: 487KB | 文件类型: PDF
本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和材料,详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。  一、半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料  半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。在这里,我们以为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所需要的设备和材料。    

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