清华大学微电子研究所讲义-MEMS封装技术.pdf
MEMS是微机电系统的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本成为微机械，在欧洲被成为微系统。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
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