湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较？-光刻与刻蚀工艺
湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺的比较？
干法刻蚀优缺点：
分辨率高
各向异性腐蚀能力强
均匀性、重复性好
便于连续自动操作
成本高，选择比一般较低
湿法刻蚀的优缺点：
成本低廉
选择比高
各向同性
腐蚀速率难以控制
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