TLM测接触电阻非常详细

半导体器件

TLM是测量欧姆接触电阻传统且成熟的方法。最初由Shockley提出，其测量结果较为精确。本文档对TLM测接触电阻的原理讲解较为详细，准确，通俗易懂。

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