H5现场 设备供液 FLOW.pptx

HS Technology的设备控制系统流程主要关注的是显影液的供应和管理，这在半导体制造和微电子工艺中至关重要。文档详细阐述了从显影液储罐（Dev. Tank）到各个处理单元的流程，确保显影液的精确浓度、无气泡和适当的流量，从而保证生产过程的稳定性和产品质量。 显影液TMAH（2.38% DRS 和 DDS）通过浓度计和浊度计进行实时监测。浓度计用于测量显影液的电导率、超声波和温度，通过算法计算出实际浓度。浊度计则检测显影液的紫外线吸光度，以评估光阻（PR）的浊度。这些传感器的目的是确保显影液的性能符合工艺要求，防止因浓度或浊度过高或低导致的工艺问题。 在流程中，Sampling泵被用来抽取显影液样本，以检查气泡。通过一个气泡消除器，可以清除显影液中的微小气泡，避免它们进入传感器内部，影响测量精度。此外，使用电动隔膜泵来提供必要的真空压力，以便在脱气装置中去除显影液中的气体，这也是保证显影效果的重要步骤。 系统还监控不同显影液的供给流量，如25% TMAH和DIW（去离子水）的供给，确保稳定的流速，以维持工艺的均匀性。自吸式磁力泵被用在Dev. Tank内抽取显影液，将其输送到浓度计和浊度计进行测量。 设备控制系统的另一关键部分是开发者控制（Developer Control System，DCS），它负责监测TMAH的浓度（C1和C2）以及PR的浊度。当显影液浓度低于设定值或浊度过高时，系统会触发回收或补充新的显影液（如CCSS 2.38%或DRS再生液）。同时，D.I.W.（去离子水）供应系统根据需求调节水分补充，以保持溶液的恰当比例。 另外，文档还提到了开发者的稀释系统（DEVELOPER DILUTION SYSTEM），包括两个供应混合罐（A和B）以及化学过滤器和泵，用于混合和过滤显影液，以达到所需的浓度。 整个流程设计以客户为中心，HS Technology致力于通过精确的控制和监测，确保工艺的可靠性和产品的高质量。由于涉及到公司机密，文档强调只有指定接收者才能查看，并且禁止非法使用、复制或泄露信息。如果误接收，应立即通知发件人并销毁文档。这样的措施旨在保护公司的技术优势和知识产权。