MEMS和微系统——设计与制造

MEMS 微系统

微系统近年来迅速发展，本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计

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评论信息

wonringking :

这是徐泰然2004的书，还有一本第二版的《MEMS与微系统-设计制造与纳尺度工程》
2020-05-28
wonringking :

这是徐泰然2004的书，还有一本第二版的《MEMS与微系统-设计制造与纳尺度工程》
2020-05-28
dsfsdtc :

还不错，简单易懂
2017-04-08
枷椰子 :

还不错，简单易懂
2017-04-08
newstun :

谢谢，非常清楚，学习中
2015-08-16
NewStun :

谢谢，非常清楚，学习中
2015-08-16
ly5250465 :

蛮清晰的，也是正需要的呢，学习先进的知识蛮有用的
2015-02-20
ly5250465 :

蛮清晰的，也是正需要的呢，学习先进的知识蛮有用的
2015-02-20
fireofsun :

内容有点老，不过知识是不会陈旧的
2014-11-08
fireofsun :

内容有点老，不过知识是不会陈旧的
2014-11-08

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