SECS(SEMI Equipment Communications Standard)即半导体设备通信标准,是半导体行业中用于半导体制造设备与主计算机之间通信的工业标准。SECS-Ⅱ是SECS标准的第二部分,它定义了信息的数据结构和数据交换的过程。为了适应这个标准,许多开发者和工程师开发了各种工具,用于协助设备制造商和芯片制造商进行通信测试和故障排除。 SECS-Ⅱ通信协议工具,例如SEComEnabler和SEComSimulator,是特别设计来支持SECS-Ⅱ标准的设备通信。这些工具可以模拟真实的半导体设备通信环境,使用户能够在不受实际生产环境约束的情况下,进行设备通信的开发、测试和调试。 SEComEnabler通常是一个功能强大的软件包,它允许工程师快速地配置和启动SECS通信环境。这个工具支持广泛的参数配置,包括但不限于SECS消息格式、设备地址、端口号等。通过这些设置,工程师可以模拟半导体设备与主计算机之间的各种通信场景,从而确保在实际部署前,所有通信环节都已正确实现,并且兼容标准。 SEComSimulator则是一个更为专业的模拟器,它可以模拟SECS-Ⅱ协议的设备行为。这意味着它可以模拟真实的设备响应,允许用户测试主计算机发送的数据包和命令,并观察设备的反应。这种模拟是双刃剑,一方面,它可以用于验证软件开发者的代码,另一方面,它也可以帮助技术支持人员在设备遇到故障时,重现问题并进行诊断。 这些工具对于任何参与半导体设备通信的团队来说都是不可或缺的。无论是半导体制造设备的供应商还是集成这些设备的工厂,都需要使用这些工具来确保他们的系统兼容SECS-Ⅱ标准。不仅如此,通过这些工具的使用,可以大幅减少现场调试的时间和成本,同时也降低了因通信问题而造成的生产停机时间。 在使用这些工具时,工程师通常需要对SECS标准有深入的了解,包括它的消息类型、通信规则以及相关的硬件要求。这通常意味着工程师需要阅读和理解SEMI(国际半导体设备与材料协会)发布的相关文档,比如SEMI E5和SEMI E30等标准文档。此外,掌握这些工具的使用技能也要求工程师具备一定的软件开发和调试技能。 SECS-Ⅱ通信协议工具为半导体行业提供了一个强大的通信测试平台。通过模拟和仿真真实的设备通信,它们为工程师提供了一个测试和验证SECS-Ⅱ兼容性的环境,极大地提高了半导体设备通信的效率和可靠性。
2025-09-05 00:46:22 517KB
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GEM/SECS模拟工具Simulator. 能与E5,E37的程序无接缝连接,能与任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接.程序主要用于测试。 使用可视化SML语言编辑通讯内容。
2025-07-01 17:23:16 2.2MB SECS
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将众多SEMI协议集合到一个PDF文件里,包含: 主要包含标准: E4 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1: 消息传输基础,侧重于串口点对点通信,是底层通信协议。 E5 - SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2: 定义消息内容,包括设备状态监控、控制指令、物料与配方管理及异常处理。 E30 - GENERIC MODEL FOR...: 建立了设备通讯与控制的通用模型,是理解复杂制造装备通讯的基础。 E37 - HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES: 通过TCP/IP实现高速通讯,替代E4标准,适合现代网络环境。 E40 - Standard for Processing Management: 规定特定加工处理的管理标准,优化工艺流程。 E116 - Equipment Performance Tracking: 跟踪并分析设备性能,助力设备健康管理与故障诊断。 E84 - Specification For Enhanced...: 描述晶圆在AMHS中的高速传送标准,以及并行I/O接口规范,对构建无人工厂至关重要。 E87 - Specification For Carrier Management (CMS): 管理载具进出设备的过程,保证作业流程的顺畅与识别准确性。 E94 - Specification For Control Job Management: 进程控制标准,确保作业指令的有效执行。 E39 - Object Services Standard: 强调数据结构定义,为通用对象提供读/写服务,促进软件层面的互操作性。
2025-06-22 17:09:58 95.17MB semi SECS
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内容概要:SEMI E30-1103标准定义了制造设备(GEM)通信和控制的通用模型,旨在标准化半导体制造设备与主机之间的通信接口,提高自动化水平并降低开发成本。该标准涵盖了通信状态模型、控制状态模型、设备处理状态模型等多个方面,详细描述了设备如何通过SECS-II消息与主机进行交互,包括建立通信、数据收集、报警管理、远程控制、设备常数管理、工艺程序管理、材料移动、终端服务等功能。标准还定义了设备的多任务缓冲处理能力,以确保在通信故障期间数据不丢失。此外,标准提供了详细的事件报告机制,允许主机实时监控设备状态。 适用人群:半导体制造设备的研发人员、工程师和技术支持人员,特别是那些需要实现或维护SECS-II通信协议的人群。 使用场景及目标:①定义设备与主机之间的标准化通信接口,确保不同制造商的设备可以互操作;②通过事件报告和状态模型,主机可以实时监控设备状态并作出相应调整;③实现远程控制和数据收集,支持工厂自动化和过程优化;④提供报警管理和错误处理机制,确保设备安全运行;⑤通过多任务缓冲处理,保证通信故障期间的数据完整性。 其他说明:该标准不仅详细规定了设备的功能要求和实现方法,还提供了应用说明和示例,帮助用户更好地理解和实施标准。此外,标准强调了与SEMI E5(SECS-II消息内容)和其他相关标准的兼容性,确保了广泛的适用性和互操作性。用户在实施过程中应注意安全和健康实践,并确保遵守相关法规。
2025-06-22 17:09:19 13.7MB SECS-II 通信协议 半导体制造 设备控制
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​发布时间​:2004年,作为SECS-II标准的核心版本沿用至今。 ​扩展功能​: 新增对复杂数据结构(如晶圆映射、工艺管理)的支持。 细化流(Stream)与函数(Function)的定义,覆盖16个流(Stream 0至Stream 17),例如Stream 16用于工艺步骤协调。 ​改进点​: 明确事务超时机制(如T1-T4超时)和错误恢复逻辑 内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-22 17:08:12 2.66MB SECS-II SEMI 标准文档
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内容概要:本文档详细介绍了SEMI设备通信标准SECS-II的消息传输协议及其具体应用,涵盖了消息头、事务超时、流和函数分配、事务协议、对话协议以及数据结构等内容。重点讨论了不同类型的流和它们的功能,如材料状态流、配方管理流等。文档还提供了具体的错误处理机制和事务流程,帮助开发者理解和实现SECS-II协议。 适合人群:半导体制造及相关行业的工程师和技术人员,尤其是那些需要进行设备间通信的系统集成和维护工作的专业人士。 使用场景及目标:本标准用于规范设备与主机之间的通信,确保设备之间的互操作性和可靠性。主要应用于半导体制造设备的控制系统中,帮助企业提高生产效率和产品质量。此外,开发者可以利用本标准进行设备集成、测试和维护。 阅读建议:本文档内容详尽且技术性强,建议在实际项目中结合具体应用场景进行学习。对于复杂的数据结构和事务流程,可以通过实验和调试来加深理解。 ps:pdf文字可复制
2025-06-06 18:46:28 998KB SEMI SECS-II 数据传输 通讯协议
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内容概要:SEMI E5-1104定义了半导体设备通信标准第2部分(SECS-II),该标准由全球信息与控制委员会批准,旨在为智能设备和主机之间的消息交换提供详细的解释规则。SECS-II不仅与SEMI设备通信标准E4(SECS-I)完全兼容,还支持多种消息传输协议。它定义了消息的结构、流和函数、事务和对话协议、数据结构等,并详细规定了18个不同流的消息用途,涵盖了设备状态、控制和诊断、材料状态、异常处理、数据收集、过程程序管理等多个方面。此外,SECS-II还涉及了计量单位的定义,并预留了一些流和功能代码供用户自定义。值得注意的是,SECS-II并不解决与使用相关的安全问题,用户需自行建立适当的安全措施。 适用人群:从事半导体制造设备与控制系统开发、维护的技术人员及工程师;参与半导体生产线自动化集成的项目管理人员。 使用场景及目标:①确保智能设备与主机之间的高效、可靠通信;②支持IC制造过程中常见的活动,如控制程序传输、物料移动信息、测量数据汇总等;③为用户提供灵活的消息定义机制,以适应特殊需求;④帮助开发者理解如何在设备和主机端实现SECS-II标准,从而简化设备集成过程。 其他说明:SEMI E5-1104特别强调了标准的实施可能涉及专利问题,提醒用户自行评估潜在的法律风险。同时,建议用户参考完整的SEMI设备通信标准文档,以获得更深入的理解和技术指导。
2025-06-03 14:25:47 12.15MB SECS-II SEMI
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标题 "secs/gem a protocol can use" 暗示我们关注的是一个名为 "secs/gem" 的协议,它可能是用于在不同系统间进行通信或数据交换的工具。这个协议可能适用于Windows和Linux操作系统,提供了跨平台的支持。描述 "secs gem for windows and linux" 确实证实了这一点,说明这个软件组件或库是为这两种广泛使用的操作系统设计的。 在IT领域,"gem" 通常指的是Ruby编程语言中的包管理器,用于分发、安装和管理代码库。然而,由于这里提到的是 "secs/gem",它可能是一个具有特定功能的自定义实现,尤其是考虑到它涉及到一个协议,这可能是一个定制的通信标准或者安全传输机制。 标签 "secs gem" 进一步强调了这个主题,表明我们将深入探讨这个特定的协议及其在Windows和Linux环境下的应用。接下来,我们将基于提供的文件名来推测可能关联的知识点: 1. **项目文件**:文件如 `.cproject`、`.vcproj.8.00.old`、`.suo.old`、`.sln.old`、`.project`、`.rc` 和 `.sln` 是开发环境中常见的项目配置文件。它们分别对应于Eclipse(C/C++项目)、Visual Studio(旧版本的项目文件和解决方案文件)以及通用的资源文件。这表明"secs/gem"可能包含了一个跨平台的开发项目,使用了多种IDE来构建和管理。 2. **DemoVC**:`DemoVC.aps` 和 `DemoVC.clw` 文件通常是Microsoft Visual C++项目的一部分,用于存储工程设置和类视图信息。这可能意味着存在一个演示或示例应用程序,用于展示"secs/gem"协议的实际用法。 3. **AlphaGem**:`AlphaGem.vcproj.8.00.old`、`AlphaGem.suo.old`、`AlphaGem.sln` 可能是另一个与"secs/gem"相关的项目,可能是核心库或主应用程序。`.vcproj`是Visual Studio项目文件,`.sln`是解决方案文件,而`.suo`是用户特定的解决方案选项。".old"后缀可能表示这些文件是先前版本的备份。 4. **版本控制**:没有明确的版本控制文件(如.git或.svn),但我们可以假设这个项目可能使用了一些版本控制系统,只是在压缩包中未包含这些文件。 "secs/gem"很可能是一个跨平台的通信库或框架,用于在Windows和Linux之间实现特定的协议。它可能包含了一个C++编写的示例项目(DemoVC),以及一个核心库项目(AlphaGem)。开发者可能使用过Eclipse和Visual Studio等IDE进行开发,并对项目进行了版本控制,尽管这些控制系统的痕迹不在提供的文件中。为了完全理解和使用"secs/gem",我们需要进一步研究其源代码、文档或API接口,以了解如何集成这个协议到我们的项目中。
2024-11-03 23:38:00 321KB secs
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GEM/SECS模拟工具Simulator. 能与E5,E37的程序无接缝连接,能与任何其他支持secs的设备或EAP稳定连接.程序主要用于测试。支持SECS-I/SECS-II/HSMS-SS通讯协议
2024-09-20 13:44:38 454KB Simulator SECS
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SECS入门学习资料, 同时建议参考视频集合:https://www.bilibili.com/video/BV1MU4y1v7hT/?spm_id_from=333.880.top_right_bar_window_custom_collection.content.click&vd_source=8d2e5738a733281d5b061e00826f058d 本人呕心沥血,搜集觉得最有用的两个文档和一个视频集合,供大家参考,本人也在学习中,github上面的secsnet4没有文档说明,也不支持.netframework,如果有大神有需要,也可以去查看
2024-09-20 13:16:51 87.28MB SECS HSMS
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