针对单负载，垂直变形引起的传统MEMS（微机电系统）谐振器窄带和谐振频率固定的问题，提出了一种新型的具有超宽带，可调谐频率和基于垂直方向两级调节特性的MEMS谐振器。和水平负载。 建立了水平和垂直负载双级调节谐振器的微分方程，推导了两端锚定的谐振器的频率方程。 提出的谐振器的中心频率为17.7 MHz，两级范围分别为395480 ppm和16 ppm。
2021-03-02 17:05:04
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微机电系统基础 Foundation of MEMS
微机电系统基础 Foundation of MEMS
微机电系统基础 Foundation of MEMS
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微机电系统基础 Foundation of MEMS
微机电系统基础 Foundation of MEMS
微机电系统基础 Foundation of MEMS
2019-12-21 21:14:19
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Chang Liu所著《Foundations of MEMS》第二版的中文和英文PDF。
中文由东南大学黄庆安教授翻译，扫描版，还算清晰；英文为高清版，文字可拷。
欢迎感兴趣的朋友下载。
2019-11-20 19:36:01
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