内容概要：本文档为《TCAD实验指导书-2024》，系统介绍了半导体工艺与器件仿真平台Sentaurus TCAD的使用方法，涵盖从基础Linux操作、SSH远程登录、TCAD软件环境配置，到工艺模拟、器件结构建模（SDE）、器件特性仿真（SDevice）、结果可视化分析（SVisual、Inspect）等全流程技术内容。重点讲解了通过CMD命令脚本方式进行器件几何结构、掺杂分布、网格划分的建模方法，以及静态/动态特性仿真的命令文件结构与物理模型设置，并结合PN结二极管、MOSFET、双极晶体管等器件实例进行仿真演练，强调工艺-结构-仿真的闭环验证流程。此外，还涉及网格重划分、参数化仿真、工艺优化等高级技巧，旨在培养学生掌握现代半导体器件仿真与工艺开发的核心能力。;
适合人群：微电子、集成电路、电子科学与技术等相关专业的本科生、研究生及从事半导体器件与工艺研发的工程技术人员。;
使用场景及目标：①掌握Sentaurus TCAD工具链的基本操作与仿真流程；②学会使用CMD脚本进行器件结构建模与工艺仿真；③掌握器件电学特性（I-V、C-V、开关特性等）的仿真与分析方法；④理解工艺参数对器件性能的影响，具备通过仿真优化器件设计的能力。;
阅读建议：建议按照实验顺序逐步实践，重点理解CMD命令脚本的语法结构与物理含义，结合SVisual和Inspect工具进行结果验证。对于复杂命令（如refinebox、pdbSet、solve等），应结合实例反复调试，注重理论知识与仿真结果的对比分析，以深化对半导体器件物理与工艺机制的理解。
2025-11-27 18:53:46
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silvaco微电子器件与工艺模拟，里面有多个教程，适合初学者使用，非常不错的教程，不要错过。内容包括：Thin Film Resistor: Creating an Thin Film Resistor Using ATHENA；Zener Diode；MS Junction: Creating a M-S Junctiong Using ATLAS等
2023-02-28 08:48:12
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SilVaco 很实用仿真 案例,如果一一按照案例去实际操作,很快对这软件有个清醒的认识
2022-01-17 11:58:41
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平面型(NPN)三极管制作工艺
在 N 型硅片(集电区)氧化膜上刻一个窗口，将硼杂质进行扩散形成 P 型(基区)，再在 P 型区上刻窗口，将磷杂质进行扩散形成N型的发射区。引出三个电极即可。
合金型三极管制作工艺：在 N 型锗片(基区)两边各置一个铟球，加温铟被熔化并与 N 型锗接触，冷却后形成两个 P 型区，集电区接触面大，发射区掺杂浓度高。
N
c
SiO2
b
硼杂质扩散
e
磷杂质扩散
磷杂质扩散
磷杂质扩散
硼杂质扩散
硼杂质扩散
P
N
2021-11-18 21:03:02
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STOAT是英国威尔士一家咨询机构开发的基于活性污泥模型的污水处理厂模型软件，中国知网文章中应用最多的污水处理厂全过程数学模型，安装密码可在水公智众慧号后台留言获取
2021-08-03 16:55:07
162.34MB
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