本文提出一种新的干涉条纹扫描方法.该方法通过在光源光路中放置旋转波片实现相位调制,从而避免了在干涉光路中引入扰动.该方法与现有方法相比,具有精度高、成本低、性能可靠等优点.
2021-02-25 16:06:20
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